在半导体行业，光刻机的重要性不言而喻。作为芯片制造过程中的核心设备，光刻机的研发难度极高，目前世界范围内也只有荷兰的ASML公司，掌握了高端光刻机的制造工艺。
对于国内的芯片企业来说，EUV光刻机一直是无法攻克的难题。虽然国内企业一直想从ASML进购EUV光刻机，但到现在，仍没有任何进展。
因此，推进光刻机的自主研发成为摆在国内科技企业面前的重要课题。最近几年，国产光刻机陆续取得了一些突破。中国激光巨头大族激光更是在1月14日强势官宣，旗下部分光刻机已经实现了批量生产和销售。
据悉，大族激光的首批光刻机精度大约在3-5μm，90%以上的核心零部件为国产，主要的应用范围为分离器加、LED等领域。
业界分析指出，从宏观角度来看，大族激光作为一家专业的激光技术公司，其生产的光刻机产品将主要面向芯片封测领域。而且随着技术的进步，大族激光将有望尽早将90%的自研率提升至100%。
这对于国内的半导体行业来说，无疑是一个好消息。虽然与ASML的EUV光刻机相比，大族激光的光刻机还处于低端阶段，但这至少在一定程度上弥补了国产光刻机数量方面的短板。
除了光刻机，大族激光还自主研发、设计和生产了晶圆激光开槽设备、晶圆改质切割设备等半导体加工设备，是国内实力最强的激光加工解决方案的提供商。
2020年，大族激光捷报频传，在疫情的影响下实现了逆势增长。根据大族激光的财报数据，2020年第三季度，大族激光实现营收36.99亿元，同比增长67.41%。在激光设备制造领域，大族激光稳居国内第一，全球前三。
综合来看，大族激光为国内的科技企业开了个好头，加快了国产芯片自主研发生产的步伐，更是为行业内众多企业提振了信心。
虽然在很多人的印象中，国内科技企业在光刻机领域起步较晚，技术较落后，但放眼全球，我国的光刻机水平在国际属于中上游水平。除了大族激光，上海微电子等企业自研的光刻机也都取得了较大的进展。
随着国家对半导体市场的扶持以及大量人力物力的投入，国产半导体领域定会迎来曙光，以大族激光为代表的国内高科技企业也会再次取得突破。
文/禹汐审/JING