扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。扩散泵是借助于喷嘴中高速喷出的油蒸汽喷流的动量而输送气体的真空泵。
优点:结构简单、无运动件、噪音很小、使用方便、维护容易、在高真空段有较大抽速，单位抽速所需制造成本较低等，因此，其应用面很广。
缺点：返油、能耗高、热效率低。提高加热效率、降低能耗、降低返油率是多少年来扩散泵需要解决而至今尚未完全解决的主要问题。
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如下;
1)极限真空变低，原因：
a.系统中有渗漏；
b.系统太脏；
c.泵油污染；
d.加热功率不够；
e.冷却水不足；
f.过量或过冷的冷却水；
g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；
h.快冷管内有水。
2) 抽气较慢，原因：
a.加热功率低；
b.油量不足；
c.喷帽安装位置不当或受损。
3)进口压力波动，原因：
a.加热器输入功率不当；
b.油脱气；
c.扩散泵进口前面系统有渗漏。
4)工作腔污染大，原因：
a.前级压力高；
b.在高于10-1Pa压力下长期工作；
c.系统操作有误。
5) 返油率过大，原因：
a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；
b. 加热功率不对；