涡旋真空泵的研究始于20世纪80年代末期。
1988年，日本东京大学的Morishita E研制了抽速为200L/min的立式自转型油润滑涡旋真空泵，与公转型涡旋真空泵相比，该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。而涡旋泵与旋片泵相比，具有更高的容积效率，泵内的振动和噪声水平都有所降低。
随着半导体、新材料和生物制药等行业的飞速发展，涡旋理论的不断成熟以及人们对真空环境清洁无油的迫切要求，涡旋真空泵以其独特的优点应运而生。
干式真空泵与油润滑真空泵的区别在于,泵腔内不含任何的油类和液体。因此,解决泵内的密封和冷却问题是干式涡旋真空泵研究的关键。1990年，采用水冷方式进行冷却的卧式干式涡旋真空泵研制成功。1998年，采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵由研制成功，其主轴上装有两个冷却风扇，分别位于两个静盘的端部。
涡旋泵通过简单的双涡旋盘式结构产生真空，即一个嵌套涡旋盘围绕另一个旋转，产生捕集气体运动的空间。气体从周边进入涡旋泵，并被转移和压缩至中央，然后在中央处排放。
快速可预测的维护过程大大缩短了服务停机时间，降低了维护成本。在需要无油泵的情况下，涡旋泵是旋片泵的理想替代。