什麼是膜片型干泵？
半導體和電子行業的需求不斷增長
隔膜真空泵是一種利用隔膜的往復運動進行排氣的真空泵。
膜片型干泵是不使用油或液體的機械真空泵，非常適用於需要清潔環境且不受油蒸氣污染的應用。隨著近來半導體製造業和電子設備工業的快速發展，對隔膜真空泵的需求也在增加。
例如，IC的晶圓吸附裝置、真空拉鏈、薄膜吸附、自動機械、包裝機械、光學機械、真空鑷子、醫療用機械、印刷機械等用途廣泛。隔膜式真空泵的外觀如圖所示。通過安裝在固定於偏心旋轉軸上的隔膜(膜片)的移動來輸送氣體，隔膜的可移動量有限，因此較小容量的較多。
膜片型干泵的應用領域：
真空排氣，真空濃縮，過濾，脫氣脫氣，真空吸盤，薄膜吸附，包裝機械，光學機械，真空鑷子，醫療機械，印刷機械等
膜片型干泵的特徵
不適用油和液體的清潔真空
膜片型干泵是不使用油或液體的機械真空泵，非常適用於需要清潔環境且不受油蒸氣污染的應用。
價格低廉，銷售量高的標準型乾式真空泵。
氣體接觸區域不使用油的乾式真空泵。
兩級排氣系統與單級排氣系統相比具有更低的壓力（良好的真空）。
大氣壓力下可運作。
結構簡單，維護方便。
優點 由於不使用油，可以清潔排氣
缺點 無法獲得高真空
膜片的彈性變形能力有限，因此只能實現相對較低的抽速。鑒於這種抽氣原理，泵內存在一個被稱為「死區」的容積 - 此處的氣體無法被移至排氣管路。在隨後的抽氣過程中，這些留在泵內的氣體會膨脹進入並填充正在膨脹的泵室，因此，隨著進氣壓力降低，流入的新氣體量越來越少。因此，這會導致容積效率持續降低。膜片真空泵所能達到的壓縮比最高只能是「死區」和泵室最大容積的比值。對於單級膜片真空泵，可達到的最終壓力約為 80 mbar。兩級泵可達到約 10 mbar（，三級泵可達到約 2 mbar，四級膜片泵可達到約 5 ·10-1 mbar。
膜片型干泵的結構
清潔構造的氣體輸送
當偏心軸（轉子）旋轉時，動力通過連杆傳遞到隔膜。
當隔膜反覆上下運動時，氣體從進氣口輸送到排氣口，實現清潔排氣。另外，每個口都裝有閥門,可以一直向同一方向輸送空氣。
使用上的注意
1. 如果在負荷運作期間停止泵，然後立即重新啟動，則可能無法重新啟動。
在這種情況下，請將泵內部恢復到大氣壓。
2. 請不要吸入腐蝕性氣體，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）
另外，確保灰塵和污垢不會進入泵內。