渦旋真空泵的研究始於20世紀80年代末期。
1988年，日本東京大學的Morishita E研製了抽速為200L/min的立式自轉型油潤滑渦旋真空泵，與公轉型渦旋真空泵相比，該泵的徑向間隙具有易於密封和控制的優點。而渦旋泵與旋片泵相比，具有更高的容積效率，泵內的振動和噪聲水平都有所降低。
隨著半導體、新材料和生物製藥等行業的飛速發展，渦旋理論的不斷成熟以及人們對真空環境清潔無油的迫切要求，渦旋真空泵以其獨特的優點應運而生。
乾式真空泵與油潤滑真空泵的區別在於,泵腔內不含任何的油類和液體。因此,解決泵內的密封和冷卻問題是乾式渦旋真空泵研究的關鍵。1990年，採用水冷方式進行冷卻的臥式乾式渦旋真空泵研製成功。1998年，採用風冷方式進行冷卻的乾式渦旋真空泵由研製成功，其主軸上裝有兩個冷卻風扇，分別位於兩個靜盤的端部。
渦旋泵通過簡單的雙渦旋盤式結構產生真空，即一個嵌套渦旋盤圍繞另一個旋轉，產生捕集氣體運動的空間。氣體從周邊進入渦旋泵，並被轉移和壓縮至中央，然後在中央處排放。
快速可預測的維護過程大大縮短了服務停機時間，降低了維護成本。在需要無油泵的情況下，渦旋泵是旋片泵的理想替代。