真空滲碳技術在研發初期，因為積碳問題，沒有得到實際應用。但是，1997年開發了乙炔真空滲碳新技術，解決了積碳的問題。而且，與以往的真空滲碳相比，其優異的滲碳品質，再現性得到了認可，適用於現在各種領域的量產部品，尤其是在汽車部品領域。真空滲碳也因為乙炔消耗量小，沒有CO2排出，也符合綠色低碳熱處理的要求，同時真空滲碳也具有以下特點：
01 滲速快
真空滲碳是熱處理產品整體達到滲碳溫度後開始滲碳，在短時間內到達飽和碳濃度（A3-Acm），可實現高濃度滲碳，同時利用真空設備的特點也可以實現高溫滲碳，以獲得高效率滲碳淬火熱處理。
02 滲層均勻性好
真空滲碳是在低壓狀態下的非氣氛流動滲碳，滲層均勻性好，尤其對孔類零件，下面是具體的案例：零件處理表面積是18.3ｍ2。要求滲碳層深（HV550）：1.1~1.4mm，真空滲碳淬火後指定孔處（約φ4ｍｍ）的中央的滲碳層深偏差是（Max1.251mm、Min1.136ｍｍ）0.115mm，上下偏差小。
03 可進行不鏽鋼的高溫滲碳
在真空氣氛中1000℃以上加熱時，可去除不鏽鋼表層的氧化膜從而實現不鏽鋼滲碳。下面是不鏽鋼（SUS304）的高溫滲碳的應用案例。要求表面硬度HV685，全滲層0.6mm，沒有晶界氧化。
04 高濃度滲碳中附加碳氮共滲處理
真空滲碳可進行1000℃以上的高溫滲碳，幾分鐘內表面碳濃度達到Acm點，比較容易在短時間內進行高濃度滲碳處理。在實際案例中，Acm點超過1.7%。一般在高濃度滲碳處理中附加球狀化處理，也可附加碳氮共滲碳處理。也有進一步進行球狀化處理，通過添加氮氣，使得表面硬度達到Hv1000，具體案例如下：
處理結果：表面碳濃度：1.67％、滲層0.1mm的硬度：Hv886、有效滲碳層深（Hv550）：1.79mm。
結論
真空滲碳技術可實現複雜形狀零件快速、均勻的滲碳處理要求，同時具備高效、綠色、低碳熱處理特點。