分子泵
分子泵最早是上个世纪初，由德国人盖德发明的，很多人不太清楚分子泵这个名字的由来，本周小编就来讲解一下～
名字的由来
分子泵为什么会叫分子泵呢？这是由它的结构和工作原理所决定的。大家知道，高速运动的刚体表面有携带气体分子运动的能力，气体分子按照一定方向持续运动就实现了抽气的目的。分子泵高速运动的涡轮叶片把动量传输给气体分子，携带气体分子运动，这种现象叫做分子拖动，或者叫分子牵引，利用分子牵引的原理制作的真空泵，就叫做分子牵引泵，简称分子泵。
分子泵发展
分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了，它在初期进展较缓慢，在1970年以前，分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域，但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达，现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段。
回顾与发展
牵引式分子泵
早期的分子泵均为牵引式分子泵，这种泵的体积大，抽速小，间隙小，故障多，应用时受到很多限制，因此只能在一些特殊领域使用，未能普及。
涡轮分子泵
涡轮分子泵的出现打开了应用市场，分子泵的结构形式从早期立式结构发展为立式和卧式并存，其规格和型号各不相同，以满足各种需求。
复合式分子泵
为使分子泵适应高压工作环境，在原有涡轮分子泵基础上加装牵引式分子泵部分，将涡轮分子泵与牵引式分子泵串联在一起，组成具有涡轮分子泵与牵引式分子泵各自优点的复合式分子泵。
除了以上提到的分子泵，近些年还出现了多种新型分子泵，如可有效抽取水分子的低温型分子泵，可在强磁场、强腐蚀条件下工作的陶瓷分子泵，以及可实现无接触支撑、高效率、高寿命的磁悬浮分子泵等。现代分子泵正在朝着智能、灵活、高效的方向发展。
分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。
分子泵在电机的带动下高速旋转，采用变频电源驱动电机，目的是得到较高的转速。在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵(盖德泵)。牵引分子泵的优点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故降，而且制造困难，实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进，出现了涡轮分子泵，如下图所示。
涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，如图5-14所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列，见图5-13。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。
可以看出，涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10-8 pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200pa之间，可采用机械泵作为前级泵，图5-15a就是由分子泵和机械泵组成的高真空机组。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400HZ之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，如图5-15b所示，集两种泵的优点于一体，能在很宽的压力范围10-6~1pa内，具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。