在半導體行業，光刻機的重要性不言而喻。作為晶片製造過程中的核心設備，光刻機的研發難度極高，目前世界範圍內也只有荷蘭的ASML公司，掌握了高端光刻機的製造工藝。
對於國內的晶片企業來說，EUV光刻機一直是無法攻克的難題。雖然國內企業一直想從ASML進購EUV光刻機，但到現在，仍沒有任何進展。
因此，推進光刻機的自主研發成為擺在國內科技企業面前的重要課題。最近幾年，國產光刻機陸續取得了一些突破。中國雷射巨頭大族雷射更是在1月14日強勢官宣，旗下部分光刻機已經實現了批量生產和銷售。
據悉，大族雷射的首批光刻機精度大約在3-5μm，90%以上的核心零部件為國產，主要的應用範圍為分離器加、LED等領域。
業界分析指出，從宏觀角度來看，大族雷射作為一家專業的雷射技術公司，其生產的光刻機產品將主要面向晶片封測領域。而且隨著技術的進步，大族雷射將有望儘早將90%的自研率提升至100%。
這對於國內的半導體行業來說，無疑是一個好消息。雖然與ASML的EUV光刻機相比，大族雷射的光刻機還處於低端階段，但這至少在一定程度上彌補了國產光刻機數量方面的短板。
除了光刻機，大族雷射還自主研發、設計和生產了晶圓雷射開槽設備、晶圓改質切割設備等半導體加工設備，是國內實力最強的雷射加工解決方案的提供商。
2020年，大族雷射捷報頻傳，在疫情的影響下實現了逆勢增長。根據大族雷射的財報數據，2020年第三季度，大族雷射實現營收36.99億元，同比增長67.41%。在雷射設備製造領域，大族雷射穩居國內第一，全球前三。
綜合來看，大族雷射為國內的科技企業開了個好頭，加快了國產晶片自主研發生產的步伐，更是為行業內眾多企業提振了信心。
雖然在很多人的印象中，國內科技企業在光刻機領域起步較晚，技術較落後，但放眼全球，我國的光刻機水平在國際屬於中上游水平。除了大族雷射，上海微電子等企業自研的光刻機也都取得了較大的進展。
隨著國家對半導體市場的扶持以及大量人力物力的投入，國產半導體領域定會迎來曙光，以大族雷射為代表的國內高科技企業也會再次取得突破。
文/禹汐審/JING