金融界2024年11月5日消息，國家知識產權局信息顯示，寧波江豐芯創科技有限公司申請一項名為「一種氣體分配盤多階組合孔的製備方法及氣體分配盤」的專利，公開號CN 118893423 A，申請日期為2024年7月。
專利摘要顯示，本發明提供了一種氣體分配盤多階組合孔的製備方法及氣體分配盤，所述的製備方法包括：(Ⅰ)提供原料坯，所述原料坯具有相對的第一端面與第二端面；(Ⅱ)採用標準銑刀去除第一端面的多餘量，並進行啄鑽處理，形成第一台階槽；(Ⅲ)對所述第一台階槽的底部表面進行鑽孔處理，形成第二台階槽，得到多階組合孔；所述第一台階槽與第二台階槽同軸；所述多階組合孔的孔徑由第一端面向第二端面的方向依次減小。本發明利用啄鑽和一鑽到底兩種工藝的配合，實現具有不同直徑的組合台階平底孔的加工，提高了組合孔質量。
來源：金融界
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