微型氟塑料磁力泵、微型氣泵、微型負壓泵、微型抽氣泵當中，通常我們把能產生負壓的小體積泵都稱作微型真空泵，但在產品選型時卻要嚴格區分。
真正意義上的微型真空泵是可以長時間對密閉容器抽真空的泵，它可以帶動較大的負載。而氣體取樣泵工作時泵腔內外的壓差較小，所以它帶的負載是很小的。就是因為對帶載能力的要求不同，造成微型真空泵與氣體採樣泵所選用的零配件有很大的差別。
微型真空泵，是指具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，並且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。微型氣泵是指體積小巧，工作介質為氣態，主要用於氣體採樣、氣體循環、真空吸附、真空保壓、抽氣、打氣、增壓等多種用途的一種氣體輸送裝置。
微型真空泵、微型氣泵對隔膜和電機都有很高的要求。對這兩個主要零件而言，疲勞強度、可靠性、壽命等技術指標都是要求在帶負載的條件下達標，而不同於氣體採樣泵只要求在極輕載荷下達標（試驗證明，負載稍大氣體採樣泵就容易損壞）。因此，兩種微型泵的成本差別很大。
綜上所述，如果把微型真空泵、微型氣泵用於氣體採樣，勢必得到很高的可靠性、更長的壽命，但成本偏高；如果把氣體採樣泵用在負載稍大的場合，可靠性、壽命就大打折扣，甚至無法正常工作，雖然它在成本上有較大優勢。選型時最好結合自己實際情況或向專業人士諮詢，以便兼顧成本和性能。
有些氣體採樣泵也能達到較好的真空度和流量指標。但是，達到這個技術指標和能在這個指標下長時間可靠工作是兩回事。比如，某微型泵，能達到30KPa的真空度，那麼當泵的抽氣口經常處在這個真空度下時，泵是否能可靠工作？因此，泵能達到的指標和它能可靠工作的指標是不一樣的，請購買時一定向製造商或經銷商確認。