爪型乾式真空泵
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概述
爪型乾式真空泵利用連接在兩軸上的成對的爪型轉子之間、轉子與泵腔內壁之間以及轉子與隔板之間進行有間隙、無摩擦的嚙合所形成的密閉腔的容積大小變化來完成吸排氣過程。
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結構
爪型乾式真空泵的結構，一般採用多級轉子串聯，或羅茨轉子與多級轉子串聯的形式，組成多級爪型乾式真空泵。
如圖所示，四級泵腔依次串聯，每級泵腔內各有一對共軛嚙合，做同步反向運動的爪型轉子。
四級泵腔中的第一級泵腔為吸氣級，其吸氣容積比後面三級大，形成級間壓縮。
四對轉子裝在二根平行軸上，軸由上下兩端軸承支撐，泵腔級與級之間有隔板，隔板上有吸排氣通道。
電動機倒立安裝，經過渡齒輪將動力傳遞到轉子軸上，轉子軸由一對同步時限齒輪帶動及調整和固定轉子的相位。
轉子之間及轉子與泵腔內部留有微小縫隙，轉子懸浮於泵腔使得過流部分無任何實質性接觸摩擦，也不需要潤滑，這就保證了爪泵可以長期穩定保持極限真空、抽速、壓縮比不變，壽命長。
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特點
- 泵腔內不含油類等任何介質、清潔抽空，對環境無污染。
- 真空度高，可達3Pa。
- 結構簡單，易於操作和維護，運行成本低。
- 能在較高壓力下長期連續工作，噪聲小。
- 能抽除腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體、放射性氣體、含有塵埃 的氣體和可凝性氣體（例如水蒸氣、有機氣體等）。
- 能做氣體傳輸泵使用，壓縮比良好，可達10-105。
- 轉子對懸浮在泵腔內，轉子對間，轉子與泵腔間不接觸，無摩擦，使用 壽命長。
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應用
石化行業：
- 能抽除酸性氣體:如四氫呋喃等。
- 能抽除可凝性氣體：如酒精、汽油等。
- 能抽除易燃易爆氣體：如氧氣、氫氣、甲烷等。
- 防腐系列能抽除強酸性氣體：如氯化氫氣體、氟化氫氣體、硫酸氣體等。
醫藥行業：結晶、蒸餾、升華、乾燥、脫臭、聚合、真空蒸發、負壓過濾、單體回收、吸附/脫附、物料輸送腐、蝕性介質、環氧乙烷消毒等。
食品行業：升華、乾燥、脫水、真空蒸發、真空保鮮、真空包裝等。
科研院所：旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、負壓抽濾、真空乾燥、中試裝置、風洞試驗、真空環境模擬等。
電子光伏：浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。
航天航空：釺焊、真空鍍膜、電子束焊、風洞試驗、空間環境模擬等。
冶金行業：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。
核工業：零泄露爪泵可抽除UF6氣體。
其它行業：中央空調、室內真空、污水處理、鋰電池製造等。