進入2納米以下埃米時代後，ASML高數值孔徑極紫外光 (High-NA EUV) 曝光機就成為先進位程半導體廠的關鍵。英特爾4月宣布業界首套High-NA EUV組裝完成後，台積電月底也會引進首套High-NA EUV，較外界猜測年底提前一季，也超車很想搶在台積電前面的三星。
台積電之前態度較保守，技術論壇歐洲場表示，不會立即購買High-NA EUV，因價格太貴，幾年內都不需高端EUV。市場分析師指出，台積電採用High-NA EUV會在2030年後。
台積電董事長魏哲家不久前缺席年度技術論壇台北場，改拜訪荷蘭ASML總部，外界解讀為台積電對High-NA EUV態度轉變，對手英特爾已購買，故台積電下一步對市場優勢就是關鍵，提早採購High-NA EUV。ASML財務長Roger Dassen也證實，兩大客戶台積電和英特爾年底都會收到High-NA EUV。
外媒報道，ASML發言人Monique Mols說，年底交貨的High-NA EUV每套3.8億美元 。最新消息指出，台積電首套High NA EUV買價遠低於定價。
能讓龍頭ASML也給折扣的主因，外界推測還是數量。畢竟台積電A16製程已有客戶下單，英特爾與三星是否能成功進入埃米製程還在未定之天，ASML當然選擇服務好台積電。除了價格折扣，ASML也會全力支持技術面。而ASML不評論此消息。
(首圖來源：imec)