說到晶片生產，人們常常會想到光刻機。但是，有一種設備和光刻機同樣重要，那就是薄膜沉積設備，而拓荊科技就是該領域的佼佼者。憑藉PECVD、ALD等一系列先進的薄膜沉積設備，拓荊科技成為國內該領域的領頭羊，也引領著行業的發展方向。
不久前，拓荊科技帶著公司最新的PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）、Bonding（晶圓對晶圓混合鍵合）和ALD（原子層沉積）設備模型亮相無錫第十二屆半導體設備與核心部件展示會。憑藉產品的多樣性、對技術的深刻理解和展廳的優雅設計，拓荊科技的展台引來了無數的目光。
而十多年前，拓荊科技董事長呂光泉和他的創業夥伴們誰都沒想過如今的高光時刻，甚至多次打過「退堂鼓」。夢想引領奮鬥征程，堅持迸發出力量，憑藉資本市場的助力，拓荊科技如今已成長為國內半導體薄膜沉積設備和混合鍵合設備領域的領軍者。
打造薄膜沉積龍頭
說到晶片生產，人們常常會想到光刻機。但是，有一種設備和光刻機同樣重要，那就是薄膜沉積設備，而拓荊科技就是該領域的佼佼者。憑藉PECVD、ALD等一系列先進的薄膜沉積設備，拓荊科技成為國內該領域的領頭羊，也引領著行業的發展方向。
呂光泉介紹，目前拓荊科技的PECVD、次常壓化學氣相沉積（SACVD）、高密度等離子體化學氣相澱積（HDPCVD）設備工藝種類已實現全面覆蓋，ALD、混合鍵合等設備產品陸續通過客戶驗證，進入客戶量產線，並不斷擴大量產規模。
截至2023年末，拓荊科技累計出貨超過1500個反應腔，進入60多條生產線；預計2024年全年出貨超過1000個反應腔，創歷史新高。
「從目前國內生產線的技術節點來看，上述設備基本實現了介質薄膜的全覆蓋，在客戶端應用廣泛。公司後續要跟客戶更加緊密合作，往更先進的技術推進。」呂光泉告訴記者，拓荊科技的薄膜沉積設備可以支撐邏輯晶片、存儲晶片中所需的全部介質薄膜材料的100多種工藝應用。
隨著近年來核心技術突破，拓荊科技持續推進各系列產品的疊代升級與產業化應用，產品市場競爭力持續增強，經營業績保持較高速度增長。2023年度，拓荊科技營業收入達到27.05億元，同比增長59%，2018年至2023年復合增長率達到107%。
堅持贏得夢想
作為如今的晶片設備領軍企業，拓荊科技也曾遭遇艱難時刻，呂光泉帶領團隊，用堅持的力量將夢想實現。
「拓荊創立的時候，國內高端半導體設備的發展剛剛起步，無論是找資本，還是送設備給客戶驗證，都非常困難。」呂光泉表示，創始團隊曾經多次打過「退堂鼓」。但是，懷著晶片產業創新之夢，呂光泉和他的「戰友們」又一次次走到一起。「好在又把團隊收了回來，才有了今天的成就。其實我想說：貴在堅持，堅持就是勝利。」呂光泉表示。
真正有夢想的人總會迎來曙光。團隊的努力讓公司獲得了國家「十一五」02重大專項的支持，也獲得了來自國家和地方給予的大力幫助，這讓拓荊科技能夠從0走到1。
「當時幾乎就是從0起步，在創始團隊帶領下引進行業資深專家、培養國內技術團隊，組建了一支專業的研發團隊。」呂光泉表示，在團隊的共同努力下，公司不斷攻克關鍵技術，逐步形成了PECVD等薄膜系列產品。
而此後的發展，資本市場在其中發揮了重大作用。呂光泉表示，在產品和市場拓展初有成果後，公司先後得到了當地產業基金、國家大基金、國投創業等基金的加持，在公司發展關鍵期提供了資金支持。
科創板更讓拓荊科技插上了騰飛的翅膀。公司於2022年4月登陸科創板，募集資金22億元，為公司的持續高質量發展提供了有力的資金支持。公司有效合理使用募集資金，將募資投入公司的擴產建設及產品研發，包括瀋陽總部二期潔凈廠房建設、上海臨港研發及產業基地的建設以及公司設備研發等項目，極大提升了公司的產能及研發能力，助力公司穩健發展。
持續投入創新
乘著資本市場的東風，拓荊科技積極拓寬創新賽道，應用於Chiplet等領域的混合鍵合設備成為公司關注重點。
Chiplet即「芯粒」，是一個或多個晶片的小型集合，可以獨立製造、獨立設計，並且在集結後可以形成一個更強大的晶片，就像搭建樂高積木一樣。呂光泉透露，拓荊科技在這個領域已發力四五年，2023年公司相關的混合鍵合設備正式推入客戶端，並通過客戶驗證實現量產。
呂光泉認為，Chiplet在未來三五年甚至十年里，都有著巨大的市場容量。拓荊科技對此塊業務發展充滿信心，因為公司從Bonding技術開始就走在最前列，同國際水平幾乎沒有差距，甚至在很多指標上領先於國際供應商。
拓荊科技董事會秘書趙曦表示：「在混合鍵合設備方面，拓荊科技持續優化升級晶圓對晶圓混合鍵合設備、晶片對晶圓鍵合表面預處理設備，拓展了市場應用。此外，拓荊科技自主研發的鍵合套准精度量測產品已獲得客戶訂單，並積極推進晶片對晶圓混合鍵合設備的研發。」
創新的領先離不開在技術和人才上的持續投入。2024年上半年，拓荊科技研發投入金額達3.14億元，同比增加50%，研發投入占營業收入比例達24.81%，多年來的研發投入占營業收入的比例均在20%以上。截至2024年上半年末，拓荊科技研發人員數量達506人，同比增加102人，研發人員數量占拓荊科技總人數的比例為40.38%。