镀膜靶材分类和应用领域有哪些?

2022-07-01   秒准科学仪器

原标题:镀膜靶材分类和应用领域有哪些?

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。15302652247

靶材一般分类为金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材。应用领域: 靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。主要应用于微电子领域、显示器用、存储。

靶材密度计

型号基础参数:MAY-AE30

称重范围:0.1g-30kg

密度精度:0.001g/cm

密度范围:0.001-99.999g/cm