設備故障是指設備失去或降低其規定功能的事件或現象。表現為設備的某些零件失去原有的精度或性能，使設備不能正常運行、技術性能降低，致使設備中斷生產或效率降低而影響生產。真空等離子清洗機的故障可以分為:等離子體相關故障、RF射頻故障、真空問題等故障。
等離子體相關故障
等離子體相關的故障可以分為不產生等離子體和等離子體密度低。
1.不產生等離子體
不產生等離子體的主要問題有以下幾種情況:
(1)射頻電源損壞 措施:檢查射頻源輸出信號、射頻電纜、匹配網絡，對故障點進行維修。
(2)真空問題 措施:檢查各連接處的漏率，對漏率比較大的密封圈進行更換;檢查真空泵組。
(3)壓力過大或過低
措施:檢查氣源壓力;檢查壓力閥;檢查真空閥。 2.等離子體密度低 等離子體密度低可從射頻功率源、氣源充足性、質量流量控制器、腔壁是否污染等方面檢查。 RF射頻故障
RE射頻故障是真空等離子清洗機最常見的故障之一。其表現現象一般分為:反射功率大，無輸出功率。
反射功率大
反射功率大一般屬於匹配問題，一般情況下，若飄移不大，可通過設備的調節開關調整到允許範圍內。但下列現象沒有辦法通過調節開關調到允許範圍之內:匹配命令發出之後調整電機不轉、電容葉片變形卡住、位置電位器壞，，位害電位器軸回緊質螺釘鬆動，齒輪禁搵等情況只能打開匹西箱進行相應位害的調整及維修。
無輸出功率
首先在射頻源的輸出接上50Ω的假負載，以此判斷是射頻源問題還是射頻源之後的故障。若是接上假負載以後功率指示為零，說明射頻源有問題，維修射頻源。若接上假負載後功率指示不為零，說明射頻源完好，可檢查射頻線纜是否短路、腔體是否污染等。 真空問題
等離子清洗機直空系統的好壞，是影響清洗質量的重要因素之一，對直空系統的保養維護主要從以下幾個方面入手:
(1)定時檢查真空度，及時更換各個連接處的密封圈。例如刻蝕腔體和預真空室隔離門，由於經常開合。很容易導緻密封圈磨損而漏氣，應及時更換。
(2)定期保養真空泵組，真空泵組由機械泵和分子泵組成。應經常檢查機械泵和分子泵的油麵是否在廠家標定的最高允許液面和最低允許液面之間。平時多留意機械泵的抽速，一日機械泵抽速變慢，要及時檢查機械泵，否則很容易引起分子泵故障。
熟練堂握真空等離子清洗機的原理與組成構造，堂握影響等離子清洗工藝的各方面因素，可以極大的縮短設備故障後的修復時間。另外，定期對等離子清洗設備進行保養也是保證設備穩定的一個重要手段。