集微網消息（文/Jimmy），據ZDnet報道，三星宣布，已成功將EUV技術應用於DRAM的生產中。
三星已經出貨了100萬個使用EUV工藝製造的10nm級DDR4 DRAM模塊，並得到了客戶的評估。三星表示，評估工作完成後，將為明年大規模生產新的DRAM鋪平道路。
三星在平澤工廠的EUV專用V2生產線將於下半年開始生產DRAM模塊。該生產線預計將生產4代10nm級DDR5和LPDDR5。
這是平澤工廠除7nm邏輯晶片外又一使用EUV技術生產的晶片，三星稱，EUV技術將使其單個12英寸晶圓的生產效率提升一倍。
三星、英特爾和台積電等全球半導體製造商預計都將擴大EUV技術在晶片生產中的應用。三星此前曾表示，計劃利用EUV技術生產3nm晶片。（校對/ Jurnan ）