擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。擴散泵是藉助於噴嘴中高速噴出的油蒸汽噴流的動量而輸送氣體的真空泵。
優點:結構簡單、無運動件、噪音很小、使用方便、維護容易、在高真空段有較大抽速，單位抽速所需製造成本較低等，因此，其應用面很廣。
缺點：返油、能耗高、熱效率低。提高加熱效率、降低能耗、降低返油率是多少年來擴散泵需要解決而至今尚未完全解決的主要問題。
由於真空設備長期運轉及其它一些因素的影響，擴散泵的性能可能會逐漸變壞，現將使用中經常出現的一些問題如下;
1)極限真空變低，原因：
a.系統中有滲漏；
b.系統太髒；
c.泵油污染；
d.加熱功率不夠；
e.冷卻水不足；
f.過量或過冷的冷卻水；
g.前級壓力高；檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象；
h.快冷管內有水。
2) 抽氣較慢，原因：
a.加熱功率低；
b.油量不足；
c.噴帽安裝位置不當或受損。
3)進口壓力波動，原因：
a.加熱器輸入功率不當；
b.油脫氣；
c.擴散泵進口前面系統有滲漏。
4)工作腔污染大，原因：
a.前級壓力高；
b.在高於10-1Pa壓力下長期工作；
c.系統操作有誤。
5) 返油率過大，原因：
a. 頂噴嘴帽鬆動，間隙過大；
b. 加熱功率不對；
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