《科創板日報》8月23日消息，中微半導體設備（上海）股份有限公司表示，該公司製造矽基氮化鎵功率器件用MOCVD設備已在客戶晶片生產線上驗證。此外，製造Micro LED應用的新型MOCVD設備以及用於碳化矽功率器件應用的外延設備等也正在開發中。
公開資料顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。通過向全球領先的半導體和LED晶片製造商提供極具競爭力的高端設備和高質量的服務。中微基於跨足半導體晶片前端製造、先進封裝、發光二極體生產、MEMS製造以及其他微觀製程的高端設備領域。
中微的等離子體刻蝕設備和矽通孔刻蝕設備已被廣泛應用於國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的晶片加工製造及先進封裝，中微開發的用於LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備也已在客戶生產線上投入量產，並在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。中微公司的客戶遍布中國大陸和台灣、新加坡、韓國、日本、德國、義大利、俄羅斯等國家和地區。
智慧芽數據顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司及其關聯公司累計申請專利2000餘件，其中發明專利1700餘件，占比超過85%。該公司在中國、美國、韓國、日本、德國等國家擁有專利布局。通過進一步分析其專利技術數據可知，該公司在等離子體、處理裝置、反應腔、半導體等領域擁有豐富專利布局。