一、真空設備設計中的注意事項
1、根據設備的工藝要求，確定真空設備的總的最大允許漏率，並依據這一總漏率確定各組成部件的最大允許漏率。
2、根據設備的最大允許漏率等指標，在設計階段就初步確定將要採用的檢漏方法，並將其作為指導調試驗收的基本原則之一。
3、根據設備或部件的最大允許漏率指標，決定設備的密封、連接方式和總體加工精度，以及何種動密封形式能夠滿足要求。如，法蘭採用金屬密封或橡膠密封。
4、容器結構強度設計時，考慮如果採用加壓法檢漏，被檢件所應具有的耐壓能力和結構強度。
5、選擇零部件結構材料時，考慮是否使用了可能被工作介質和示漏氣體腐蝕而導致損壞的材料。
6、結構設計時，在容器或系統上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設備組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是大型、複雜的管路系統，通常需要採用分段檢漏方法，因此在管路上要設置分段隔離的閥門，並在每一隔離段上預留檢漏儀器接口。
7、零件結構設計時，儘量避免採用可能干擾檢漏工作的設計方案。例如在真空室內螺釘孔不能採用盲孔形式，因為安裝螺釘後螺孔內部剩餘空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏。從而延長系統抽氣時間，干擾檢漏正常進行。如圖真空檢漏中不應出現的結構。
8、與此類似，結構設計中不允許存在連續雙面焊縫和多層密封圈結構，因為這會在中間形成「寄生容積」內的氣體會形成虛漏；而當內、外雙側焊縫或密封圈同時泄漏時，「寄生容積」使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長，無法正常檢漏。
9、焊接結構設計時，儘量減少總裝後無法檢漏的焊縫。
二 真空設備製造過程中的檢漏
在設備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進行檢漏。對於製造完畢後無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫質量要嚴格檢漏，不合格的及時重焊、補焊並重新檢漏，符合要求後才可以進行下一道工序。特別是對於大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關鍵，必要時應該設計、製造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對於採用雙層室壁水冷夾套的真空室體，最好首先組焊完內層室壁並檢漏，確認沒有漏孔後再組焊外層室壁。同樣道理，對於室壁外側有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先對室壁做嚴格檢漏，然後才能包覆外層結構。
在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應採用焊後加工法蘭表面的工藝。不經焊後加工的法蘭，即便在安裝調試階段可能滿足了密封要求，但在設備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，從而導致法蘭變形和密封性能下降。
加工製造過程中，嚴格執行真空作業衛生和作業規範，對於提高真空設備和系統的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型後，需經去油清洗並及時保護將有利於提高焊縫的氣密性。已經加工完成的零部件動、靜密封面，應該具有保護措施，嚴防在存放、搬運、裝配過程中發生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應精心作業，尤其避免已經通過預檢漏後被損壞而產生漏孔。
三、真空設備安裝調試過程中的檢漏步驟
安裝調試階段是真空設備或系統檢漏工作的主體。若設備焊縫的氣密性已經通過加工階段的檢漏得以保證，那麼在設備安裝、調試過程中，檢查、保證連接部位的密封性，是檢漏工作的重點。包括各個管道、部件間的法蘭連接和動密封件等重點可疑部位。若同時對焊縫和連接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。大型、複雜真空設備最好採用分段檢漏，每裝上一個部件，便對其連接部位和焊縫進行一次檢漏，達到要求後再裝下一個部件。因為將所有部件全裝配完後再檢漏，不僅懷疑部位太多，還可能多個漏孔同時漏氣，給總體檢漏帶來極大困難。
四 真空設備安裝調試過程中的檢漏步驟如下：
1、了解待檢設備的結構組成和裝配過程。掌握設備的要求，查明需要進行檢漏的重點可疑部位。
2、根據所規定的最大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，並從經濟、快速、可靠等原則出發，正確選擇好檢漏方法或儀器，準備好檢漏時所需的輔助設備後擬定切實可行的檢漏程序。
3、應對被檢件進行好清潔工作，取出焊渣、油垢後再按真空衛生條件進行清潔處理，並予以烘乾。對要求高的小型器件。清潔處理後可通過真空烘乾箱進行烘烤，進行清潔處理後不但可以避免漏孔不被污物、油、有機溶液等堵塞，而且也保護了檢漏儀器。
4、對所選用的檢漏方法和檢漏設備進行檢漏靈敏度的校準，並確定檢漏系統的檢漏時間。
5、若採用真空檢漏法時，為了提高儀器的靈敏度，應儘可能將被檢件抽到較高真空。
6、在允許的前提下，應儘可能優先應用較為經濟和現場具備條件的檢漏方法。
7、採用氦質譜檢漏設備檢漏時，對於要求檢漏不高的或有大漏產生的被檢件時，在檢漏初期應儘量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然後再進行小漏孔的檢漏，以節約氦氣。
8、對已檢出的大漏孔及時進行修補堵塞後再進行小漏孔的檢漏。9、對檢出並修補的漏孔進行一次複查以確保檢漏結果達到要求。
五、真空設備使用過程中的注意事項
在真空設備使用運行階段，時常出現設備氣密性下降，總體漏率上升的情況，這是影響真空設備正常工作的主要原因。造成這種現象的原因包括：機械振動造成連接部位鬆動；經常拆卸部位的密封圈可能損壞或安裝不正確；由於冷、熱衝擊而發生變形和疲勞破壞；某些部件或材料因受工作介質的腐蝕而破壞；某些原本被水、油或其他髒物堵塞的漏孔重新疏通；以及應力集中而造成裂紋等。
正確使用真空設備，應該將檢漏工作納入真空設備日常維護、管理規範之中，例如定期做靜態升壓檢測實驗。操作人員發現設備氣密性下降應及時解決，根據其設備使用情況和故障現象來分析泄漏原因，並採取適當的檢漏手段，檢出漏孔位置，及時修補。不要等到設備出現多種、多處泄漏，已經無法正常工作時再去檢漏維修。
另外，平時準備充足的密封備件，定期（而不是出現問題後）更換易損件，也是做好真空檢漏工作、保證設備正常運行的主要措施。