《科創板日報》9月28日消息，中微半導體設備（上海）股份有限公司在投資者互動平台表示，公司在上海臨港的約18萬平方米的生產和研發基地建設也已大部分封頂，預計明年上半年可以部分投入使用。
根據公開資料顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司成立於2004年, 上海科技創業投資集團成員, 位於上海市, 是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業為主的企業。該公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。通過向全球領先的半導體和LED晶片製造商提供極具競爭力的高端設備和高質量的服務。
中微基於在半導體裝備產業多年耕耘積累的專業技術，跨足半導體晶片前端製造、先進封裝、發光二極體生產、MEMS製造以及其他微觀製程的高端設備領域。中微的等離子體刻蝕設備和矽通孔刻蝕設備已被廣泛應用於國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的晶片加工製造及先進封裝，中微開發的用於LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備也已在客戶生產線上投入量產，並在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。中微公司的客戶遍布中國大陸和台灣、新加坡、韓國、日本、德國、義大利、俄羅斯等國家和地區。
智慧芽數據顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司及其關聯公司累計申請專利超過2000件，其中發明專利1700餘件，占比超過85%。該公司在中國、美國、韓國、日本等國家擁有專利技術布局。通過對其專利技術數據分析可知，該公司在等離子體、反應腔、半導體、反應室等領域擁有豐富的專利技術布局。