對材料微觀結構的觀測
離不開「微觀相機」
掃描電子顯微鏡
而在2018年
科技日報公布了35項「卡脖子」技術名錄
掃描電鏡赫然在列
這一」卡脖子」技術
在經開區實現了突破~
近日，經開區企業聚束科技自主研發生產的全球首款真正意義上的高通量（場發射）掃描電子顯微鏡亮相BCEIA2019展會，並以實物通電工作狀態展示高端電鏡的風采，破解了國產掃描電鏡「弱視」問題。該掃描電鏡還獲得中國分析測試協會頒發的BCEIA2019金獎。
高質量電子光學系統研製生產困難
透鏡內探測器設計難度大
低電壓解析度難以突破
目前我國科研與工業部門所用的掃描電鏡嚴重依賴進口，每年花費上億美元採購的掃描電鏡，主要產自美、日、德和捷克等國。國產掃描電鏡市場份額只占約2%-5%，而且全部集中在低端產品。
聚束科技副總經理李帥：
「雖然市場不是特別大，但它是多個科研領域關鍵的分析用儀器設備，國產高通量掃描電鏡的問世，從設計思路上勇於創新，破解『卡脖子』技術封鎖，起到重要作用。」
今年初
經開區在部署年度工作重點任務時就強調
要堅持以全球視野謀劃科技創新
在關鍵環節、核心技術、標準制定上
超前布局、提早謀劃
力爭在「卡脖子」領域實現重大突破
在政策引導上、扶持培育上將「卡脖子」技術作為重點對象，目前已經篩選出了一批名單，下一步還將加大扶持力度，集中力量在優勢領域培育「殺手鐧」，掃描電鏡技術就是其中之一。
在聚束科技生產車間
小亦看到研發團隊
正在組裝名為領航者的掃描電鏡
該型電鏡的性能先進：
超高速成像能力達4-8TB/天，使之具備了跨尺度信息融合能力。
超大區域全息成像模式，保持高解析度情況下對樣品進行全自動無遺漏信息採集，並可繪製成Google地圖式全景信息瀏覽。
實現全自動樣品載入系統，搭載有超高清全景光學導航系統，具有全球最快的二次電子(SE)加背散射電子（BSE）同步成像速度，比傳統的產品快了10倍以上，可以7×24小時自動連續圖像採集，為創建大數據提供了可靠的保障。
電鏡在1千伏加速電壓下可獲得1.4納米、10千伏下可獲得1.0納米的分辨能力。1納米相當於頭髮絲直徑的10萬分之一。
小亦採訪了聚束科技的
相關負責人
聽聽他是怎麼說的~
聚束科技總經理何偉：
「該系統可對工程級材料進行整體納米晶粒、成分分布統計等電鏡微區分析，視頻級納米分析能力使掃描電鏡從傳統意義的納米『照相機』躍變為納米『攝像機』。」
經過幾年的發展，聚束科技已經聚集了70多人的研發團隊開展技術攻關，獲得國家發明專利、實用新型專利、國際PCT專利共計30餘項（篇），領航者掃描電鏡在國內裝機數量也達到10台（套），並出口海外，實現了在國內重大科研項目上的示範性應用，下一步，掃描電鏡設備還將進入到某知名半導體晶片製造商等公司的實驗室里，協助進行開發分析，助力高端製造。
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記者：方針
編輯：陸楊
文章來源: https://twgreatdaily.com/JBQDFW4BMH2_cNUgusxj.html