金融界 2024 年 11 月 2 日消息，國家知識產權局信息顯示，上海新微技術研發中心有限公司申請一項名為「一種干涉型 FP 腔光機加速度傳感器及其製造方法」的專利，公開號 CN 118883988 A，申請日期為 2024 年 7 月。
專利摘要顯示，本發明提供一種干涉型 FP 腔光機加速度傳感器，包括依次鍵合在一起的頂蓋層、功能層以及底蓋層晶圓；所述頂蓋層內表面以及底蓋層上表面均開設有相同形狀的凹槽，且頂蓋層凹槽與底蓋層凹槽接合，形成一個具有一定體積的空腔；所述功能層放置在所述空腔內，所述功能層包括懸臂樑以及與懸臂樑連接的質量塊；所述頂蓋層的內表面以及所述質量塊的上表面均設置有分布布拉格式高反膜。本發明還提供了一種干涉型 FP 腔光機加速度傳感器的製造方法，通過分別製作頂蓋層、功能層以及底蓋層，且完成頂蓋層、功能層以及底蓋層的製作後，將三片晶圓順序鍵合，垂直集成在一起形成一個加速度傳感器。本發明提供的加速度傳感器，具有製造方便製程簡易的優點。
來源：金融界