乾式螺杆真空泵
乾式螺杆真空泵，是利用一對螺杆，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。
工作原理
螺杆式乾式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子的旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環，現在以其中一對齒來說明。
吸氣過程
陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺杆按順時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
壓縮過程
轉子端面是排氣端面。在這裡，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉子沿逆時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
排氣過程
螺杆泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通後，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。
1特徵
- 可靠性高。螺杆式乾式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運轉可靠，壽命長。
- 操作維護方便。
- 動力平衡性好。螺杆式乾式真空泵沒有不平衡的慣性力，機器可平穩地高速運行。
- 適應性強。螺杆式乾式真空泵具有強制輸氣的特點，在寬廣的壓力範圍內能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.
- 多相混輸。由於螺杆式乾式真空泵轉子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。
2應用
螺杆式乾式真空泵廣泛應用於電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用於生產晶片、製造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD製程。
在核工業中用於核反應堆及核工業真空獲得;化工上用於真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用於回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業中用於香料、香精濃縮，食品包裝等。
應用範圍極為廣泛。具體如下：
具體應用：乾燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業領域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環境。具體應用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空乾燥、拉單晶、特氣製造、離子刻蝕等。
紡織、冶金等行業 在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關工藝中應用乾式真空泵， 具體應用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。
一類是以半導體行業為代表，要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。對半導體行業中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。
- 清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣。
- 中等條件下的抽氣，抽除工藝過程的反應氣體，但無固體顆粒物。
- 惡劣條件下的抽氣，抽除化學反應物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物。
另一類是以石化行業為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體，或有毒氣體，或含有微塵的氣體。螺杆式乾式真空泵廣泛應用於電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用於生產晶片、製造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD製程。
在核工業中用於核反應堆及核工業真空獲得;化工上用於真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用於回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業中用於香料、香精濃縮，食品包裝等。